特性

■高速

音圈电机模组可以直接将电磁力转换为直线运动，能产生高速运动。

■高精度

全闭环反馈控制直接驱动和线性编码器消除运动损失和背隙，实现高精度。

■高响应

通过与运动控制器的结合，实现了高响应。

适用领域

计量、光子学、半导体、显示器等制造中的精密扫描